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特許情報


発明の名称
可変熱膨張及びゼロ熱膨張を有する変位拡大装置及びこれを用いた形状可変副鏡ユニット 
発明者
坂本啓, 柏山礼興, 石村　康生.  
種別
特許 
状態
登録 
出願人
国立大学法人東京工業大学.  
出願日
2019/01/31
出願番号
特願2019-015751
公開日
2020/08/13
公開番号
特開2020-124068
登録日
2023/06/05
登録番号
特許第7290306号

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