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特許情報


発明の名称
圧電体膜の製造方法 
発明者
舟窪浩, 舘山明紀, 伊東 良晴, 清水荘雄, 折野裕一郎, 黒澤実, 内田 寛, 白石貴久, 木口 賢紀, 熊田 伸弘.  
種別
特許 
状態
公開 
出願人
国立大学法人東京工業大学, 学校法人上智学院, 国立大学法人東北大学, 国立大学法人山梨大学.  
出願日
2019/01/10
出願番号
特願2019-564746
公開日
2021/03/11
公開番号
再表2019/139100

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