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特許情報


発明の名称
酸化物半導体装置及びその製造方法 
発明者
宮島晋介, 滝口雄貴, 湯田　洋平　, 綿引　達郎　.  
種別
特許 
状態
登録 
出願人
国立大学法人東京工業大学, 三菱電機株式会社.  
出願日
2019/08/08
出願番号
特願2020-538314
公開日
2021/04/08
公開番号
再表2020/039971
登録日
2021/11/18
登録番号
特許第6980116号

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