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特許情報


発明の名称
誘電性薄膜、誘電性薄膜素子、圧電アクチュエータ、圧電センサ、ヘッドアセンブリ、ヘッドスタックアセンブリ、ハードディスクドライブ、プリンタヘッド、及びインクジェットプリンタ装置 
発明者
舟窪浩, 清水荘雄, 長谷川光勇, 石濱圭佑, 佐藤　祐介　, 佐藤　和希子　, 石田　未来　.  
種別
特許 
状態
公開 
出願人
国立大学法人東京工業大学, ＴＤＫ株式会社.  
出願日
2019/09/11
出願番号
特願2020-546060
公開日
2021/09/30
公開番号
再表2020/054779

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