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特許情報


発明の名称
流動層プラズマ発生装置、及び流動層プラズマ発生方法 
発明者
全俊豪.  
種別
特許 
状態
公開 
出願人
国立大学法人東京工業大学.  
出願日
2020/07/29
出願番号
特願2020-128454
公開日
2022/02/10
公開番号
特開2022-025559

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