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特許情報


発明の名称
強誘電性薄膜、それを用いた電子素子および強誘電性薄膜の製造方法 
発明者
舟窪浩, 清水荘雄, 安岡慎之介, 上原　雅人, 山田　浩志　, 秋山　守人.  
種別
特許 
状態
登録 
出願人
国立大学法人東京工業大学, 国立研究開発法人産業技術総合研究所.  
出願日
2020/12/25
出願番号
特願2021-567693
登録日
2023/04/11
登録番号
特許第7260863号

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