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特許情報


発明の名称
検査装置 
発明者
波多野睦子, 北川涼太, 孝橋 照生, 高口 雅成, 谷垣 俊明.  
種別
特許 
状態
公開 
出願人
国立大学法人東京工業大学, 株式会社日立製作所.  
出願日
2022/08/01
出願番号
PCT/JP2022/029451
公開日
2024/02/08
公開番号
WO 2024/028935

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