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特許情報


発明の名称
静電吸着デバイス、反り矯正方法、及び取付方法 
発明者
齋藤滋規, 吉本純平, 田岡祐樹.  
種別
特許 
状態
公開 
出願人
国立大学法人東京工業大学.  
出願日
2024/08/28
出願番号
PCT/JP2024/030734
公開日
2025/03/06
公開番号
WO 2025/047804
備考
審査未請

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