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特許情報


発明の名称
酸化物薄膜、およびその酸化物薄膜を含む誘電体素子 
発明者
舟窪浩, 白石貴久, 岡本一輝, 中村　美子, 傅　杰, 八木　俊剛, 嶋村　圭介.  
種別
特許 
状態
公開 
出願人
国立大学法人東京科学大学, 株式会社オハラ.  
出願日
2023/11/16
出願番号
特願2023-194904
公開日
2025/05/28
公開番号
特開2025-081855

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