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特許情報
発明の名称
圧電薄膜、及び圧電薄膜素子
発明者
舟窪浩
,
岡本一輝
, 井上 ゆか梨, 平井 浩司, 小野 裕之, 文 宇.
種別
特許
状態
公開
出願人
国立大学法人東京科学大学, TDK株式会社.
出願日
2023/11/10
出願番号
特願2023-192421
公開日
2025/05/22
公開番号
特開2025-079626
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