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特許情報


発明の名称
圧電薄膜、及び圧電薄膜素子 
発明者
舟窪浩, 岡本一輝, 井上 ゆか梨, 平井 浩司, 小野 裕之, 文 宇.  
種別
特許 
状態
公開 
出願人
国立大学法人東京科学大学, TDK株式会社.  
出願日
2023/11/10
出願番号
特願2023-192421
公開日
2025/05/22
公開番号
特開2025-079626

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