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特許情報


発明の名称
窒化マグネシウムケイ素膜、圧電体及び圧電素子 
発明者
舟窪浩, 影山壮太郎, 岡本一輝, 安岡慎之介, 上岡　義弘, 召田　雅実.  
種別
特許 
状態
公開 
出願人
国立大学法人東京科学大学, 東ソー株式会社.  
出願日
2023/12/28
出願番号
特願2023-222941
公開日
2025/07/10
公開番号
特開2025-104821

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