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特許情報


発明の名称
アニーリング処理装置、アニーリング処理方法及びプログラム 
発明者
川村一志, 神保聡, 戸川　望, 白井　達彦.  
種別
特許 
状態
公開 
出願人
国立大学法人東京科学大学, 学校法人早稲田大学.  
出願日
2024/01/31
出願番号
特願2024-013724
公開日
2025/08/13
公開番号
特開2025-118413

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