Effect of admixture of Rare Gases on Microwave Excited Oxygen Plasma

Publication Information

Title

Japanese:	マイクロ波励起酸素プラズマに対する希ガスの混入効果
English:	Effect of admixture of Rare Gases on Microwave Excited Oxygen Plasma

Author

Japanese:	坂本武士, 直井浩一, 北村直久, 松浦治明, 赤塚洋.
English:	T. Sakamoto, K. Naoi, N. Kitamura, H. Matsuura, H. Akatsuka.

Language

English

Journal/Book name

Japanese:	プラズマ科学シンポジウム2005/第22回プラズマプロセシング研究会プロシーディングス
English:	Proceeding of Plasma Science Symposium 2005/ The 22nd Symposium on Plasma Processing (PSS-2005/SPP-22)

Volume, Number, Page

pp. 535

Published date

2005

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:
English:	プラズマ科学シンポジウム2005/第22回プラズマプロセシング研究会

Conference site

Japanese:
English:	名古屋