超音波振動を用いた非接触ナノ位置決めテーブルシステム

Publication Information

Title

Japanese:	超音波振動を用いた非接触ナノ位置決めテーブルシステム
English:	Advanced Non-contact Nano-Positioning Table System Using Ultrasonic Oscillation

Author

Japanese:	高橋宗大, 吉岡勇人, 橋詰等, 新野秀憲.
English:	Takahashi, M., Hayato Yoshioka, Hashizume, H., Shinno, H..

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	２００５年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
English:	Proceedings of JSPE 2005 Autumn Annual Assembly

Volume, Number, Page

pp. 859-860

Published date

Sept. 2005

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	２００５年度精密工学会秋季大会学術講演会
English:

Conference site

Japanese:	京都大学
English: