Zピンチ放電を用いたEUV光源の研究

Publication Information

Title

Japanese:	Zピンチ放電を用いたEUV光源の研究
English:

Author

Japanese:	坂本敏郎, 宋仁皓, 小林靖典, S.R. Mohanty, 渡辺正人, 河村徹, 沖野晃俊, 堀岡一彦, 堀田栄喜.
English:	坂本敏郎, 宋仁皓, 小林靖典, S.R. Mohanty, 渡辺正人, 河村徹, 沖野晃俊, 堀岡一彦, 堀田栄喜.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	平成17年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集
English:

Volume, Number, Page

pp. 17

Published date

2005

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:
English:

Conference site

Japanese:	日本
English: