水熱合成PZT多結晶膜を用いた厚み振動超音波トランスデューサ -高感度化及び広帯域化を目的とした成膜プロセス-

Publication Information

Title

Japanese:	水熱合成PZT多結晶膜を用いた厚み振動超音波トランスデューサ -高感度化及び広帯域化を目的とした成膜プロセス-
English:

Author

Japanese:	石河睦生, 高瀬真宏, 黒澤実, 橘内洋, 長谷川智仁, 鈴木崇洋, 遠藤聡人, 竹内真一.
English:	Mutsuo Ishikawa, Masahiro Takase, Minoru Kuribayashi Kurosawa, Hiroshi Kitsunai, Tomohito Hasegawa, Takahiro Suzuki, Akihito Endo, Shinichi Takeuchi.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	日音講論集
English:

Volume, Number, Page

pp. 1201-1202

Published date

Sept. 2005

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	日音講論集
English:

Conference site

Japanese:
English: