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Publication Information


Title
Japanese:RFプラズマCVD法によるアモルファス炭素膜の電気的特性評価 
English: 
Author
Japanese: 西英隆, 赤坂大樹, 大竹尚登.  
English: 西英隆, Hiroki Akasaka, NAOTO OHTAKE.  
Language Japanese 
Journal/Book name
Japanese:2006年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 
English: 
Volume, Number, Page         pp. 641-642
Published date 2006 
Publisher
Japanese: 
English: 
Conference name
Japanese:2006年度精密工学会春季大会 
English: 
Conference site
Japanese:東京理科大学野田キャンパス 
English: 

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