リニアモータ駆動超音波浮上テーブルシステムの開発

Publication Information

Title

Japanese:	リニアモータ駆動超音波浮上テーブルシステムの開発
English:	Development of Ultrasonic Levitation Table System Driven by Linear Motor

Author

Japanese:	後閑利通, 吉岡勇人, 新野秀憲.
English:	T.Gokan, H.Yoshioka, H.Shinno.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	日本機械学会第６回生産加工・工作機械部門講演会講演論文集
English:	Japan Society of Mechanical engineers

Volume, Number, Page

Vol. 06 No. 34 pp. 151-152

Published date

Nov. 2006

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	日本機械学会第６回生産加工・工作機械部門講演会
English:

Conference site

Japanese:	生産性国際交流センター
English: