電子エネルギー分布関数によるアルゴンプラズマの分光学的特性への影響

Publication Information

Title

Japanese:	電子エネルギー分布関数によるアルゴンプラズマの分光学的特性への影響
English:	Effect of Electron Energy Distribution Function on Spectroscopic Characteristics of Argon Plasmas

Author

Japanese:	赤塚　洋, 柏崎良之.
English:	赤塚　洋, 柏崎良之.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	プラズマ科学シンポジウム2001・第18回プラズマプロセシング研究会(PSS-2001/SPP-18)プロシーディングス
English:	Proc. Plasma Science Symposium 2001/ the 18th Symposium on Plasma Processing

Volume, Number, Page

pp. 359

Published date

2001

Publisher

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Conference name

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Conference site

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