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Publication Information


Title
Japanese:マイクロマシンの制御手法 
English: 
Author
Japanese: 三宅美博.  
English: Yoshihiro Miyake.  
Language Japanese 
Journal/Book name
Japanese:「マイクロマシンの基礎技術の研究」、（財）マイクロマシンセンター 
English: 
Volume, Number, Page         pp. 721-824
Published date 1996 
Publisher
Japanese:「マイクロマシンの基礎技術の研究」、（財）マイクロマシンセンター 
English: 
Conference name
Japanese: 
English: 
Conference site
Japanese: 
English: 

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