LuO<sub>x</sub>極薄膜の深さ方向組成・化学結合状態分析

Publication Information

Title

Japanese:	LuO_x極薄膜の深さ方向組成・化学結合状態分析
English:

Author

Japanese:	白石貴義, 竹林一騎, 高橋健介, 野平博司, 柏木郁未, 大島千鶴, 大見俊一郎, 岩井洋, 城森慎司, 中嶋薫, 鈴木基史, 木村健二, 服部健雄.
English:	白石貴義, 竹林一騎, 高橋健介, 野平博司, 柏木郁未, 大島千鶴, 大見俊一郎, 岩井洋, 城森慎司, 中嶋薫, 鈴木基史, 木村健二, 服部健雄.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	第50回応用物理学関係連合講演会
English:

Volume, Number, Page

Vol. 2 pp. 869

Published date

2003

Publisher

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Conference name

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Conference site

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