ナノメートル分解能を有するXY弾性表面波モータ

Publication Information

Title

Japanese:	ナノメートル分解能を有するXY弾性表面波モータ
English:	XY Surface Acoustic Wave Motor with Nanometer Resolution

Author

Japanese:	重松隆史, 黒澤実.
English:	T. Shigematsu, M. K. Kurosawa.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	第21回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム講演論文集
English:	Proc. of 21st. Sensor Symp.

Volume, Number, Page

pp. 237-240

Published date

Oct. 2004

Publisher

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