ナノ加工用超精密スピンドルシステムの開発

Publication Information

Title

Japanese:	ナノ加工用超精密スピンドルシステムの開発
English:	Air Turbine Driven Aerostatic Spindle System for Nano-Machining

Author

Japanese:	吉岡勇人, 平林武洋, 新野秀憲.
English:	Yoshioka, H., Hirabayashi, T., Shinno, H..

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	第１２回国際工作機械技術者会議「工作機械関連のニューテクノロジー」ポスター展
English:	New Technologies of Machine Tool and Manufacturing

Volume, Number, Page

pp. 52-53

Published date

Nov. 2006

Publisher

Japanese:	日本工作機械工業会
English:	Japan Machine Tool Builders' Association

Conference name

Japanese:	第１２回国際工作機械技術者会議
English:	The 12th International Machine Tool Engineers Conference

Conference site

Japanese:	東京ビックサイト
English: