Sc2O3ゲート絶縁膜のリーク電流機構の解析

Publication Information

Title

Japanese:	Sc2O3ゲート絶縁膜のリーク電流機構の解析
English:

Author

Japanese:	幸田みゆき, 川那子高暢, 角嶋邦之, パールハット・アヘメト, 筒井一生, 杉井信之, 服部健雄, 岩井洋.
English:	幸田みゆき, Takamasa Kawanago, Kuniyuki KAKUSHIMA, パールハット・アヘメト, KAZUO TSUTSUI, 杉井信之, takeo hattori, HIROSHI IWAI.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	秋季第68回応用物理学会学術講演会講演予稿集
English:

Volume, Number, Page

pp. 820

Published date

Sept. 2007

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	秋季第68回応用物理学会学術講演会
English:

Conference site

Japanese:	北海道工業大学
English: