低温現像によるGaInAsP/InP量子細線構造の線幅ばらつきの低減

Publication Information

Title

Japanese:	低温現像によるGaInAsP/InP量子細線構造の線幅ばらつきの低減
English:

Author

Japanese:	プルームウォンロート・タノーム, 小沢浩二, 黒川宗高, 田村茂雄, 丸山武男, 西山伸彦, 荒井滋久.
English:	プルームウォンロート・タノーム, Koji Ozawa, Munetaka Kurokawa, shigeo tamura, Takeo Maruyama, Nobuhiko Nishiyama, SHIGEHISA ARAI.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	第55回応用物理学関係連合講演会
English:

Volume, Number, Page

Vol. 千葉 no. 28p-E-18

Published date

Mar. 2008

Publisher

Japanese:	応用物理学会
English:

Conference name

Japanese:	第55回応用物理学関係連合講演会
English:

Conference site

Japanese:	千葉
English: