大気圧非平衡マイクロ波プラズマジェットを用いたPENフィルム表面処理における基礎特性

Publication Information

Title

Japanese:	大気圧非平衡マイクロ波プラズマジェットを用いたPENフィルム表面処理における基礎特性
English:	Basic Characteristics for PEN Film Surface Modification using Atmospheric-Pressure Non-equilibrium Microwave Plasma jet

Author

Japanese:	湯地敏史, 浦山卓也, 藤井修逸, 飯島善時, 須崎嘉文, 赤塚洋.
English:	Toshifumi Yuji, Takuya Urayama, Shuitsu Fujii, Zentoki Iijima, Yoshifumi Suzaki, HIROSHI AKATSUKA.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	電気学会論文誌A 基礎・材料・共通部門誌
English:	IEEJ. Trans. FM

Volume, Number, Page

Vol. 128 No. 6 pp. 449-455

Published date

June 2008

Publisher

Japanese:	社団法人電気学会
English:	The Institute of Electrical Engineers of Japan

Conference name

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DOI