陰極温度制御による真空アーク蒸着アモルファスカーボン膜のドロップレット低減

Publication Information

Title

Japanese:	陰極温度制御による真空アーク蒸着アモルファスカーボン膜のドロップレット低減
English:	Droplet reduction in amorphous carbon film prepared in vacuum arc deposition by controlling cathode temperature

Author

Japanese:	堀越睦美, 平田敦.
English:	Mutsumi Horikoshi, ATSUSHI HIRATA.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	2007年度砥粒加工学会学術講演会講演論文集
English:

Volume, Number, Page

pp. 277-278

Published date

Sept. 2007

Publisher

Japanese:	社団法人砥粒加工学会
English:

Conference name

Japanese:	2007年度砥粒加工学会学術講演会
English:

Conference site

Japanese:	東京工業大学大岡山キャンパス
English: