rf対向ターゲットスパッタ法による低損失(Ba0.4,Sr0.6)TiO3薄膜の作製

Publication Information

Title

Japanese:	rf対向ターゲットスパッタ法による低損失(Ba0.4,Sr0.6)TiO3薄膜の作製
English:

Author

Japanese:	村嶋祐二, 玉井万尋, 小牧一樹, 中川茂樹.
English:	Yuji Murashima, K. Tamai, K. Komaki, Shigeki Nakagawa.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	第25回強誘電体応用会議 (FMA-25)予稿集
English:

Volume, Number, Page

30-T-15

Published date

May 2008

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	第25回強誘電体応用会議 (FMA-25)
English:

Conference site

Japanese:
English:	Kyoto / Japan