超臨界ナノプレーティング法による半導体配線形成技術の開発

Publication Information

Title

Japanese:	超臨界ナノプレーティング法による半導体配線形成技術の開発
English:

Author

Japanese:	清水哲也, 曽根正人, 柴田曉伸, 肥後矢吉, 石山千恵美, 田島久善, 宋利国, 曽根田栄悦.
English:	unknown unknown, Masato Sone, Akinobu Shibata, YAKICHI HIGO, CHIEMI ISHIYAMA, 田島久善, 宋利国, 曽根田栄悦.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

Published date

Mar. 2008

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	第55回応用物理学関係連合講演会
English:

Conference site

Japanese:	日本大学理工学部船橋キャンパス
English: