マイクロ波放電窒素プラズマ中の電子・振動励起準位の非平衡性に関する基礎研究

Publication Information

Title

Japanese:	マイクロ波放電窒素プラズマ中の電子・振動励起準位の非平衡性に関する基礎研究
English:	Fundamental Research of Non-Equilibrium in Electronical and Vibrational Levels of Microwave Discharge Nitrogen Plasma

Author

Japanese:	柴田智彦, 根津篤, 松浦治明, 赤塚洋.
English:	Tomohiko Shibata, Atsushi Nezu, HARUAKI MATSUURA, HIROSHI AKATSUKA.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	平成２１年電気学会全国大会講演論文集
English:	The 2009 Annual Meeting Record I.E.E. Japan

Volume, Number, Page

Vol. 1 p. 235

Published date

Mar. 2009

Publisher

Japanese:	社団法人電気学会
English:	IEE Japan

Conference name

Japanese:	平成２１年電気学会全国大会
English:	The 2009 Annual Meeting, I.E.E. Japan

Conference site

Japanese:	北海道大学、札幌
English:	Hokkaido Univ., Sapporo, Japan