La2O3/Si直接接合構造における界面特性の評価

Publication Information

Title

Japanese:	La2O3/Si直接接合構造における界面特性の評価
English:

Author

Japanese:	川那子高暢, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 筒井一生, 杉井信之, 服部健雄, 岩井洋.
English:	Takamasa Kawanago, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, KAZUO TSUTSUI, Nobuyuki Sugii, takeo hattori, HIROSHI IWAI.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	秋季第69回応用物理学会学術講演会予稿集
English:

Volume, Number, Page

No. 2 pp. 702

Published date

Sept. 2008

Publisher

Japanese:	応用物理学会
English:

Conference name

Japanese:	秋季第69回応用物理学会学術講演会
English:

Conference site

Japanese:	中部大学
English: