V型超音波モータを用いた高速分解能ステージ

Publication Information

Title

Japanese:	V型超音波モータを用いた高速分解能ステージ
English:

Author

Japanese:	阿隅一将, 福永了一, 藤村健, 黒澤実.
English:	Kazumasa Asumi, Ryoichi Fukunaga, Takeshi Fujimura, Minoru Kuribayashi Kurosawa.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	第29回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演論文集
English:

Volume, Number, Page

pp. 359-360

Published date

Nov. 2008

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	第29回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
English:

Conference site

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