マイクロ波励起による希ガス混入酸素プラズマの特性解析

Publication Information

Title

Japanese:	マイクロ波励起による希ガス混入酸素プラズマの特性解析
English:	Measurement of oxygen-rare gas mixed microwave-discharge plasmas

Author

Japanese:	高井渉, 根津篤, 松浦治明, 赤塚洋.
English:	wataru takai, Atsushi Nezu, HARUAKI MATSUURA, HIROSHI AKATSUKA.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	電気学会研究会資料プラズマ・パルスパワー・放電合同研究会
English:	The Papers of Joint Technical Meeting on Plasma Science and Technology, Pulsed Power Technology and Electrical Discharges, IEE Japan

Volume, Number, Page

Vol. PST-09-22~40 # PST-09-25 pp. 19-23

Published date

Aug. 2009

Publisher

Japanese:	社団法人電気学会
English:	The Institute of Electrical Engineers of Japan

Conference name

Japanese:	電気学会研究会プラズマ・パルスパワー・放電合同研究会
English:	Joint Technical Meeting on Plasma Science and Technology, Pulsed Power Technology and Electrical Discharges, IEE Japan

Conference site

Japanese:	同志社大学（今出川キャンパス）
English:	Doshisha University, Imadegawa Campus