Si基板上に製膜した(001)エピタキシャルYSZ薄膜の残留応力の測定と制御

Publication Information

Title

Japanese:	Si基板上に製膜した(001)エピタキシャルYSZ薄膜の残留応力の測定と制御
English:

Author

Japanese:	村上晃浩, 脇谷尚樹, 吉岡朋彦, 田中順三, 篠崎和夫.
English:	Akihiro Murakami, Naoki Wakiya, Tomohiko Yoshioka, Junzo Tanaka, KAZUO SHINOZAKI.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	日本セラミックス協会 2009年年会講演予稿集
English:	Annual Meeting of The Ceramic Society of Japan, 2009

Volume, Number, Page

No. 3C17 pp. 266

Published date

Mar. 2009

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	日本セラミックス協会 2009年年会
English:	Annual Meeting of The Ceramic Society of Japan, 2009

Conference site

Japanese:	東京理科大学（野田キャンパス）
English: