RF CMOS 集積回路と MEMS 回路の融合

Publication Information

Title

Japanese:	RF CMOS 集積回路と MEMS 回路の融合
English:	Integration of RF CMOS and MEMS

Author

Japanese:	石原昇, 水落裕, 天川修平, 益一哉.
English:	Noboru Ishihara, Yutaka Mizuochi, Shuhei Amakawa, Kazuya Masu.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	電気学会センサ・マイクロマシン部門主催第26回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集(2009年、東京)
English:

Volume, Number, Page

C2-2

Published date

Oct. 2009

Publisher

Japanese:
English:	電気学会

Conference name

Japanese:
English:	電気学会センサ・マイクロマシン部門主催第26回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集(2009年、東京)

Conference site

Japanese:
English:	東京, 日本