A Study on Micro Patterning Method Using Electrically Controlled Nano-particle Deposition (静電気力を利用したナノパーティクルによるマイクロパターニング手法に関する研究)

Publication Information

Title

Japanese:	A Study on Micro Patterning Method Using Electrically Controlled Nano-particle Deposition (静電気力を利用したナノパーティクルによるマイクロパターニング手法に関する研究)
English:	A Study on Micro Patterning Method Using Electrically Controlled Nano-particle Deposition (静電気力を利用したナノパーティクルによるマイクロパターニング手法に関する研究)

Author

Japanese:	金俊完.
English:	Joon-wan KIM.

Type

Type:	Thesis (Ph.D.)
Country:

Language

Organization name

The University of Tokyo

Report number

Conferred date

2005/--/--

Judge