ダイヤモンド合成用アーク放電プラズマジェットCVD装置に関する研究

Publication Information

Title

Japanese:	ダイヤモンド合成用アーク放電プラズマジェットCVD装置に関する研究
English:

Author

Japanese:	平田敦.
English:	ATSUSHI HIRATA.

Type

Type:	Thesis (Ph.D.)
Country:	Japan

Language

Japanese

Organization name

Tokyo Institute of Technology

Report number

乙第3030号

Conferred date

1997/03/31

Judge