対向ターゲット式スパッタ法によるフェライト薄膜の作成と磁気ディスクへの応用に関する研究

Publication Information

Title

Japanese:	対向ターゲット式スパッタ法によるフェライト薄膜の作成と磁気ディスクへの応用に関する研究
English:	Study of ferrite film preparation by facing targets sputtering system and application for magnetic disks

Author

Japanese:	松下伸広.
English:	NOBUHIRO MATSUSHITA.

Type

Type:	Thesis (Ph.D.)
Country:	Japan

Language

Organization name

Tokyo Institute of Technology

Report number

乙第3233号

Conferred date

1998/11/30

Judge