高不純物濃度のETSOI(Extremely-Thin SOI) 拡散層における移動度とSOI 膜厚および不純物濃度の関係

Publication Information

Title

Japanese:	高不純物濃度のETSOI(Extremely-Thin SOI) 拡散層における移動度とSOI 膜厚および不純物濃度の関係
English:

Author

Japanese:	角谷直哉, 高橋綱己, 大橋輝之, 小寺哲夫, 小田俊理, 内田建.
English:	N Kadotani, Tsunaki Takahashi, 大橋輝之, Tetsuo Kodera, SHUNRI ODA, Ken Uchida.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

Published date

Mar. 2011

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	第58回応用物理学関係連合講演会
English:

Conference site

Japanese:	厚木市
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