対向ターゲット式スパッタ法の斜め入射効果を利用したFeCoB薄膜への高異方性磁界付与法の開発

Publication Information

Title

Japanese:	対向ターゲット式スパッタ法の斜め入射効果を利用したFeCoB薄膜への高異方性磁界付与法の開発
English:

Author

Japanese:	中川茂樹, 平田健一郎, 益子泰裕, 橋本篤人.
English:	Shigeki Nakagawa, Kenichiro Hirata, Yasuhiro Mashiko, Atsuto Hashimoto.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	平成22年度秋季大会粉体粉末冶金協会講演概要集
English:	Abstracts of Autumn Meeting of Japan Society of Powder and Powder Metallurgy, 2010

Volume, Number, Page

p. 54

Published date

Nov. 9, 2010

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	平成22年度秋季大会粉体粉末冶金協会講演
English:	Autumn Meeting of Japan Society of Powder and Powder Metallurgy, 2010

Conference site

Japanese:	京都府
English: