RF MEMS高可変率インダクタの形状に関する検討

Publication Information

Title

Japanese:	RF MEMS高可変率インダクタの形状に関する検討
English:	A Study of RF MEMS Inductor with High Tunability

Author

Japanese:	白根篤史, 伊藤浩之, 石原昇, 益一哉.
English:	Atsushi Shirane, Hiroyuki Ito, Noboru Ishihara, Kazuya Masu.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	第 72 回応用物理学会学術講演会講演予稿集(2011 秋山形大学) 30a-E-13
English:

Volume, Number, Page

pp. 22-013

Published date

Aug. 30, 2011

Publisher

Japanese:	応用物理学会
English:

Conference name

Japanese:	第 72 回応用物理学会学術講演会
English:

Conference site

Japanese:	山形
English: