ドライエッチングによる(001)TiO2単結晶のマイクロ規則構造の作製

Publication Information

Title

Japanese:	ドライエッチングによる(001)TiO2単結晶のマイクロ規則構造の作製
English:	Fabrication of TiO2 microstructure by reactive ion etchin

Author

Japanese:	林未来郎, 守井泰士, 松谷晃宏, 西岡國生, 磯部敏宏, 松下祥子, 中島章.
English:	M.Hayashi, Y.Morii, A.Matsutani, K. Nishioka, T.Isobe, S.Matsushita, A.Nakajima.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

Published date

Mar. 27, 2012

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	日本セラミックス協会 2012年年会
English:

Conference site

Japanese:	京都
English: