光散乱を利用したDLC膜のバルク欠陥検出法

Publication Information

Title

Japanese:	光散乱を利用したDLC膜のバルク欠陥検出法
English:

Author

Japanese:	櫻田悠一, 高島舞, 安原鋭幸, 岩本喜直, 松尾誠, 大竹尚登.
English:	Yuichi Sakurada, Mai Takashima, TOSHIYUKI YASUHARA, yoshinao iwamoto, 松尾誠, NAOTO OHTAKE.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	日本機械学会2012年度年次大会講演論文集DVD
English:

Volume, Number, Page

Published date

Sept. 10, 2012

Publisher

Japanese:	日本機械学会
English:

Conference name

Japanese:	日本機械学会2012年度年次大会
English:

Conference site

Japanese:	石川県金沢市
English: