スティッキング抑制手法によるマイクロマシン面発光レーザの製作

Publication Information

Title

Japanese:	スティッキング抑制手法によるマイクロマシン面発光レーザの製作
English:	Fabrication of MEMS VCSELs by a release process with suppressed stiction

Author

Japanese:	中濵正統, 佐野勇人, 坂口孝浩, 松谷晃宏, 小山二三夫.
English:	Masanori Nakahama, Hayato Sano, Takahiro Sakaguchi, Akihiro Matsutani, Fumio Koyama.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

12a-PA5-3 22-003

Published date

Sept. 12, 2012

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	2012年秋季第73回応用物理学会学術講演会
English:	The 73rd JSAP Autumn Meeting 2012

Conference site

Japanese:	松山
English: