レーザ加工用高速・多自由度磁気浮上アクチュエータ

Publication Information

Title

Japanese:	レーザ加工用高速・多自由度磁気浮上アクチュエータ
English:

Author

Japanese:	He Dongjue, 森本貴景, 進士忠彦, 中井孝洋, 藤川周一.
English:	unknown unknown, Yoshihiro Morimoto, TADAHIKO SHINSHI, 中井孝洋, 藤川周一.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	2012年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
English:

Volume, Number, Page

p. 7-8

Published date

Sept. 17, 2012

Publisher

Japanese:
English:	精密工学会

Conference name

Japanese:	2012年度精密工学会秋季大会
English:

Conference site

Japanese:	北九州市
English:

Official URL