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Publication Information


Title
Japanese:パルスプラズマCVD法により成膜したDLC膜のマクロ欠陥検出 
English: 
Author
Japanese: 櫻田 悠一, 高島 舞, 赤坂 大樹, 岩本 喜直, 松尾 誠, 大竹 尚登.  
English: Yuichi Sakurada, Mai Takashima, Hiroki Akasaka, yoshinao iwamoto, 松尾 誠, NAOTO OHTAKE.  
Language Japanese 
Journal/Book name
Japanese:2012年度精密工学会秋季大会学術講演会 
English: 
Volume, Number, Page CD-ROM       
Published date Sept. 14, 2012 
Publisher
Japanese:精密工学会 
English: 
Conference name
Japanese:2012年度精密工学会秋季大会学術講演会 
English: 
Conference site
Japanese:北九州市 
English: 

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