オンチップ光回路のためのBCB貼り付けを用いたSi基板上InP薄膜受動素子の特性

Publication Information

Title

Japanese:	オンチップ光回路のためのBCB貼り付けを用いたSi基板上InP薄膜受動素子の特性
English:	InP-based passive devices with membrane structure on Si substrate using BCB bonding for on-chip PICs

Author

Japanese:	李智恩, 山原佳晃, 渥美裕樹, 西山伸彦, 荒井滋久.
English:	Jieun Lee, Yoshiaki Yamahara, Yuki Atsumi, Nobuhiko Nishiyama, SHIGEHISA ARAI.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	光エレクトロニクス研究会(OPE)
English:

Volume, Number, Page

Published date

Dec. 21, 2012

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	電子情報通信学会
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Conference site

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