アレイ型CMOS-MEMS加速度センサのためのデバイスの検討

Publication Information

Title

Japanese:	アレイ型CMOS-MEMS加速度センサのためのデバイスの検討
English:

Author

Japanese:	山根大輔, 本橋剛, 小西敏文, 松島隆明, 伊藤浩之, 石原昇, 年吉洋, 町田克之, 益一哉.
English:	Daisuke Yamane, gou motohashi, Toshifumi Konishi, Takaaki Matsushima, Hiroyuki Ito, Noboru Ishihara, Hiroshi Toshiyoshi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

Published date

Oct. 23, 2012

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	応用物理学会・集積化MEMS技術研究会主催第4回集積化MEMSシンポジウム
English:

Conference site

Japanese:	福岡県北九州市
English:

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