DLC 膜の合成条件がバルク欠陥に及ぼす影響

Publication Information

Title

Japanese:	DLC 膜の合成条件がバルク欠陥に及ぼす影響
English:

Author

Japanese:	櫻田悠一, 高島舞, 赤坂大樹, 岩本喜直, 松尾誠, 大竹尚登.
English:	Yuichi Sakurada, Mai Takashima, Hiroki Akasaka, yoshinao iwamoto, 松尾誠, NAOTO OHTAKE.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	第26回ダイヤモンドシンポジウム講演要旨集
English:

Volume, Number, Page

pp. 64-65

Published date

2012

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	第26回ダイヤモンドシンポジウム
English:

Conference site

Japanese:	東京
English: