多波長ワンショット干渉法による表面形状測定の改良アルゴリズム:複数波長統合型局所モデル的合法の局所的情報共有による高速化

Publication Information

Title

Japanese:	多波長ワンショット干渉法による表面形状測定の改良アルゴリズム:複数波長統合型局所モデル的合法の局所的情報共有による高速化
English:	Improved algorithm for multiwavelength sigle-shot interferometric surface profiling:Speeding up the multiwavelength-integrated local model fitting method by local information sharing

Author

Japanese:	仲田圭佑, 杉山将, 北川克一, 大槻真左文.
English:	Nakata, K., Sugiyama, M., Kitagawa, K., Otsuki, M..

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

pp. 137-138

Published date

2013

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	第20回精密工学会学生会員卒業研究発表講演会
English:	The Japan Society for Precision Engineering 2013 Student Session

Conference site

Japanese:	東京
English:	Tokyo